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投影光刻機氣動隔振系統有哪些方式

發表時間:2023-05-18

投影光刻機氣動隔振系統有哪些方式
1、設計方案絕對高度更低:與傳統氣缸對比,增壓器的投影光刻機氣動隔振系統并沒有液壓油缸。設計方案含有什么方法可以大幅度降低彈簧的絕對高度?使結構更緊密。
2、無電源適配器的好姿態:工業設備氣襄扭力彈簧的偏斜角度做到30°,便捷設計師設計方案連接組織計劃方案。(注:假如設施的規格型號和規格不一樣,允許的俯仰角也不一樣。)
3、型號挑選低成本:與傳統氣缸對比彈簧,氣體增壓器彈簧不僅低成本,而且使用年限長,免維護保養空氣彈簧減震器哪里好,成本費可控性。
4、無摩擦免維修保養:即便在嚴酷的應用情況下彈簧,彈簧也可以正常的工作中。由于打氣筒內并沒有互相摩擦的構件(液壓密封件),因此即便在有許多灰塵、微小顆粒物或沉淀的條件下都不容易損壞。
5、聯系實際出色的疲倦緩解:氣囊彈簧在動態性情況下也十分耐疲倦,由于這類氣囊用以各式各樣化工品的生產制造普遍的運用和檢測,即使他們是不容易受天氣和外部環境的危害。即便承載力大,工業設備仍能維持較長的使用年限。
6、氣體增壓器投影光刻機氣動隔振系統的氣軸抗壓強度可達30mm,在該地區工作時可始終保持。與氣缸或液壓油缸不一樣,氣缸不容易紙卡或損壞液壓密封件,都不應用易受灰塵與別的碎渣損害的滾桶。
7、便于組裝:當不除灰時,氣囊投影光刻機氣動隔振系統組裝快速輕輕松松,省時省力、時間精力和成本費。除此之外,該元器件具有較好的延展性,能夠賠付細微的偏差。
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